常用平整度的四种检测方法

平整度常指加工或者生产某些东西时，表面并不会绝对平整，所不平与绝对水平之间的所差数据。平整度检测有时也叫正面度检测、共面度检测。平整度检测系统专门用于检测各种IC芯片、电子连接器等各种电子元器件的针脚的水平直线度、共面度、间隙、针脚宽度等指标。

附：常用平整度的四种检测方法

1、塞尺测量法

只需一套可随身携带的塞尺就可随时随地进行平面度的粗测。目前很多工厂仍使用该方法进行检测。由于其精度不高，常规最薄塞尺为10um，检测效率较低，结果不够全面，只能检测零件边缘。

2、液平面法

基于连通器工作原理，适合测量连续或不连续的大平面的平面度，但测量时间长，且对温度敏感，仅适用于测量精度较低的平面。

3、激光平面干涉仪测量法

最典型的用法是平晶干涉法。但主要于测量光洁的小平面的测量，如千分头测量面，量规的工作面，光学透镜。

4、水平仪测量法

广泛用于工件表面的直线度和平面度测量。测量精度高、稳定性好、体积小、携带方便。但是用该方法测量时需要反复挪动仪器位置，记录各测点的数据，费时、费力，调整时间长，数据处理程序繁琐。

5、打表测量法

典型应用为平板测微仪及三坐标仪，其中优以三坐标仪为应用最广泛。测量时指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。但其效率较低，通常一个样品需要几分钟，离15ppm的期望相差甚远。

基于机器视觉的平整度检测系统正在得到广泛应用，象华为等重要的PCB使用者都在广泛地开发和应用这种平整度自动化检测系统和设备。

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